透射工作模式——超声波扫描显微镜

超声波扫描显微镜有两种工作模式，分别是反射和透射。这里着重 介绍一下透射工作模式。在透射模式下需要两个换能器才能工作，一个用于发射超声波，位于样品的上方；一个用于接收透过样品的超声波，固定于样品的底部。透 射工作模式用于样品内部分层缺陷的快速简易筛选，主要是针对一些大企业或工厂，有大量产品需要筛检的场合。超声波扫描显微镜的透射工作模式原理，如图如 示：

透射模式无法确定被测材料内部缺陷的深度位置，但可以比反射扫描模式更快捷，方便的判断被测器件内部是否有缺陷，因此被许多半导体封装企业在筛选产品时所广泛应用。

换能器——超声波扫描显微镜

超声波扫描显微镜系统有很多部件，其中一个关键部件叫：换能器，俗称探头。它是把高频电子脉冲信号转换为超声波信号的一个器件，相当于把电能量转换为机械能，因此称为换能器。它的内部是一些压电晶体，就是一片片很 薄的陶瓷片粘接到一起的一个“堆”，当在两端加上电压时，这个堆就作微量的位移（即会伸长或缩短，且具有线性特性）。换能器的外观，如下图所示，各种形状 都有，特别是一个菱形外观的换能器，这是德国凯斯安公司推出的全新一代FCT换能器，用在高速超波显微镜系统上。