适用于自动化和工业系统 i-系列
KSI i-系列是为了检测晶圆、晶锭和大型样品而设计和制造的新一代超声波检测系统。KSI i-系列产品的机械系统反映了强大的工业和半导体工厂设计能力,集合了终端用户所需要的特点。 KSI i-系列集合了超声波仪器和系统设计长达30多年的开发经验,它的特征包含了强大的机械设计、封闭式双闭环伺服定位系统、多道换能器和数据采集功能。
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KSI- 凯斯安i-Ingot型全自动晶锭分析检测系统
新型KSI i-Ingot适用于对晶锭的无损检测,有了它,晶锭内部的裂缝或杂质就能得到快速检测,晶锭的尺寸可达450mm,检测时间短,也不需要做其它设定。
除此之外,新的检测程序还能防止外界干扰。有了KSI i-Ingot,使用8通道换能器系统能检测小到100μm的孔隙,从而提高效能。
新型KSI i-Ingot的特点: - 新机器安装方便快速 - 多重换能器系统,数量多达8只 - 检测速度快,图像采集速度快 - 工业标准 - 程序稳定,能防止外界干扰 - 能检测各种晶锭尺寸,安装快速 - 24小时待命 - 根据用户要求定制
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KSI - 凯斯安i-Wafer型全自动晶圆超声波缺陷检测系统
i-Wafer系列是一款高端仪器,操作人员可选择接收/拒绝标准,手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下,晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检测。
新型KSI i-Wafer晶圆缺陷检测系统的主要特点: - 扫描速度最高达2000mm/s - 新型换能器 - 高质画面 - 同时使用1只、2只、4只换能器提高效能 - 能发现只有几微米的缺陷 - 能检测200mm、300mm和450mm的晶圆 - 频率范围从10MHz到550MHz - 最大放大倍数:625倍 - 通过不同的扫描模式灵活应用 - 使用Windows 7 GUI就可简单操作 - KSI 可视软件 - 根据用户需要加以应用 - 高性价比
为客户订制的晶圆托盘 全自动8英吋和12英吋晶圆缺陷检测声扫系统,带晶圆盒、机械手、准直系统和条码识别系统
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