换能器与分辨率和穿透深度的关系——超声波扫描显微镜


超声波扫描显微镜对被测器件是有一定限制的,因为它的工作频率一般在5MHz~400MHz之间,所以它在不同材料中,穿透深度是不同。一般有这样的规律:频率越高的超声波,穿透性越差,但是分辨率高;频率低的超声波,穿透性好,但是分辨率有限

穿透深度(与材料本身有关*): 穿透深度取决于被测物的弹性参数、信噪比及超声扫描显微镜系统的工作频率。被测物与耦合介质之间较大的声失配会降低穿透深度,但另一方面,高信噪比可以提 高穿透深度。在高声阻抗的固体中超声波的穿透深度与超声波的频率成反比。对于低声阻抗的固体,横波和纵波均可以用于内部成像,因此在这种情况下穿透深度不 受频率的限制。
分辨率:取决于样品和换能器的状况,一般情况下可达到半波长(λ/2)。

频率(MHz)

穿透深度*(mm)

理论分辨率(μm)

焦距(mm)

5

15,0

300

19

10

10,0

150

15

15

5,1

100

19

20

4,1

75

15

25

4,1

60

15

30

3,4

50

12

40

5,4

38

20

75

3,4

20

12

80

2,2

19

8

100

0,4

15

1

110

2,2

14

8

120

2,2

12

8

 

 

换能器的焦距——超声波扫描显微镜


超声波扫描显微镜的换能器,它的工作焦距取决于被测材料的物理性质。由于不同的材料中声速也不相同,因此换能器的焦距一般特指在水中的焦距。大多数材料中的声速都大于水中的声速,换能器的有效焦距均缩短了。造成这种效应的原因是声波在界面上的折射,如下图所示。

 

超声波扫描显微镜的换能器焦距示意图

下式可以计算焦距的变化情况。

换能器焦距计算公式

其中WP代表水中的距离,MD代表声波在材料中穿透的深度,F表示水中的焦距,Ctm,Cw分别表示被测材料及水中的声速。
例如,在特定的焦距及材料路径下,上式可以用于计算为了补偿焦距变化换能器到样品表面的有效距离。

 
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