换能器与分辨率和穿透深度的关系——超声波扫描显微镜
超声波扫描显微镜对被测器件是有一定限制的,因为它的工作频率一般在5MHz~400MHz之间,所以它在不同材料中,穿透深度是不同。一般有这样的规律:频率越高的超声波,穿透性越差,但是分辨率高;频率低的超声波,穿透性好,但是分辨率有限!
穿透深度(与材料本身有关*): 穿透深度取决于被测物的弹性参数、信噪比及超声扫描显微镜系统的工作频率。被测物与耦合介质之间较大的声失配会降低穿透深度,但另一方面,高信噪比可以提 高穿透深度。在高声阻抗的固体中超声波的穿透深度与超声波的频率成反比。对于低声阻抗的固体,横波和纵波均可以用于内部成像,因此在这种情况下穿透深度不 受频率的限制。 分辨率:取决于样品和换能器的状况,一般情况下可达到半波长(λ/2)。
频率(MHz)
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穿透深度*(mm)
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理论分辨率(μm)
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焦距(mm)
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5
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15,0
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300
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19
|
10
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10,0
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150
|
15
|
15
|
5,1
|
100
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19
|
20
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4,1
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75
|
15
|
25
|
4,1
|
60
|
15
|
30
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3,4
|
50
|
12
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40
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5,4
|
38
|
20
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75
|
3,4
|
20
|
12
|
80
|
2,2
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19
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8
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100
|
0,4
|
15
|
1
|
110
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2,2
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14
|
8
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120
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2,2
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12
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8
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