KSI - 凯斯安i-Wafer型全自动晶圆超声波缺陷检测系统

i-Wafer系列是一款高端仪器，操作人员可选择接收/拒绝标准，手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下，晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检测。

新型KSI i-Wafer晶圆缺陷检测系统的主要特点：晶圆托盘和工装
- 扫描速度最高达2000mm/s
- 新型换能器
- 高质画面
- 同时使用1只、2只、4只换能器提高效能
- 能发现只有几微米的缺陷
- 能检测200mm、300mm和450mm的晶圆
- 频率范围从10MHz到550MHz
- 最大放大倍数：625倍
- 通过不同的扫描模式灵活应用
- 使用Windows 7 GUI就可简单操作
- KSI 可视软件
- 根据用户需要加以应用
- 高性价比