扫描声学显微镜

扫描声学显微镜,英文是Scanning Acoustic Microscope,也称超声波扫描显微镜,用于检测各种器件的内部分层、空洞、裂纹等缺陷。



KSI v300E 高精度扫描声学显微镜

v300E声学显微镜设备

1) 扫描机械机构

(1) XY轴都是由高精度磁悬浮直线电机驱动

(2) XY轴一次最大扫描行程范围:300mm×300mm(上限可以做到305mm x 305mm)

(3) XY一次最小扫描行程范围:0.2mm×0.2mm

(4) 最大扫描速率:2000mm/s,最大扫描加速度30m/s2

(5) XY轴扫描重复精度±0.1um

(6) Z轴是高精度自锁步进电机,最大行程:100mm

(7) Z轴电机重复精度:± 0.25μm

2) 扫描模式

(1) 点波形(A-Scan)

(2) 纵剖扫描(B-Scan)

(3) 横剖扫描(C-Scan)

(4) 斜剖扫描(D-Scan

(5) 等间隔多层横剖扫描(X-Scan)

(6) 自定义多层横剖扫描,可独立设置不同层面的厚度等参数

(7) 透射扫描

(8) 顺序扫描、托盘扫描、高质量扫描、表面跟踪扫描、全息扫描(实体扫描)

(9) 其它

3) 脉冲信号收发器和换能器

(1) 扫描工作模式:单通道工作模式

(2) 脉冲信号收发器带宽:5MHz550MHz

(3) 总增益:150dB

4) 主要功能

(1) 测试被测工件内部缺陷,如空洞、分层、裂缝、异物等;

(2) 扫描图像模板功能,轻松获得参数一致的声学显微图像;

5) 其它指标

(1) 保存图像格式:JPGBMPSAM(sam是原厂图像格式)

(2) 最大图像采样像素:32000×32000像素 ,可以自定义输入图像分辨率或单个像素尺寸,由设备自动计算所用的图像分辨率

6) 配置与附件清单

(1) KSI v300E主机 1

(2) 探头: 根据实际需要,可以自由选择共200多种探头

30MHz低噪FCT探头;

透射接收探头等;

其它约200多种探头型号

(3) 电脑系统 1

Intel酷睿i5多核处理器

128GB固态硬盘+1000GB机械硬盘

16GB内存

227英寸显示器

11 正版Microsoft windows 10操作系统(电脑内置)

12 键盘和鼠标

13 Ksi vision 主机控制扫描软件

14 远程维修软件

(4) 仪器其余部件如下

马达驱动器 3个;

超声信号发生器和接收器 1个;

大理石防震平台;

超声信号前置放大器 1个;

水槽 1

自动排水口 1

干手布 1

(5) 附件、耗材、易损件:

随机附件:用户手册等

所有的线缆和探头都属于易损件,1个月内非人为损坏可以更换。

 

 

KSI V-quattro四探头超声波扫描显微镜系统


KSI v-quattro四探头超声波扫描显微镜分析系统

多工系统——4探头超声波扫描显微镜分析系统

四探头系统,同时使用4只换能器
- 最大扫描速度:2000 mm/s
- 与其它品牌相比扫描效率高30%
- 最大扫描范围:1000mm×700mm
- 最小扫描范围:200μm×200μm
- 带宽:550MHz
- 最大放大倍数:250倍
- 新型FCT换能器

 

KSI V-duo 双探头超声波扫描显微镜系统

KSI v-duo双探头超声波扫描显微镜分析系统

双探头超声波扫描显微镜系统,同时使用2只换能器
- 最大扫描速度:2000 mm/s
- 与其它品牌相比扫描效率高30%
- 最大扫描范围:700mm×600mm
- 最小扫描范围:200μm×200μm
- 带宽:550MHz
- 最大放大倍数:625倍
- 新型换能器

 

KSI V-Octo 八探头大型超声波扫描显微镜系统

KSI v-octo八探头超声波扫描显微镜分析系统

大型8探头超声波扫描显微镜分析系统

该系统同时使用8只换能器,能最大限度的确保快速图像采集和高效能。
- 最大扫描速度:2000 mm/s
- 与其它品牌相比扫描效率高30%
- 最大扫描范围:1000mm×700mm
- 最小扫描范围:200μm×200μm
- 带宽:550MHz
- 最大放大倍数:250倍
- 新型换能器

 

KSI-Nano型高分辨率表层缺陷超声波扫描显微镜系统


声学显微成像系统和光学显微成像系统的完美结合超高分辨率超声波扫描显微镜KSI NANO

KSI Nano型超声波扫描显微镜是拥有高分辨率的声学显微成像系统,它能对实测器件的表层缺陷作超高分辨缺陷检测。

在使用100MHz——2000MHz的超高频超声波时,这种分辨率得以实现。

KSI nano 还包含一个倒置光学显微镜,在进行超声波检测前可利用它调整样品的位置。

KSI nano超声波扫描显微镜系统还应用于世界各地的生命和物质科学研究。
- 换能器频率范围:100MHz——2000MHz频率实现高分辨率
- 探测深度<100nm
- 特殊平均模式使信噪比更好
- 同步光学成像和超声波成像使样品在结构上、生物化学性能上和机械性能上具有关联性。
- 光声效应增强了对比性
- 最大放大倍数:1000倍
- 入射光显微镜和倒置光学显微镜可调节

 
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