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扫描声学显微镜，英文是Scanning Acoustic Microscope，也称超声波扫描显微镜，用于检测各种器件的内部分层、空洞、裂纹等缺陷。
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凯斯安KSI v700E 超声波扫描显微镜
- 该型号超声波扫描显微镜分析系统，用于检测大件样品
- - 最大扫描速度：2000 mm/s
- - 与其它品牌相比扫描效率高30%
- - 最大扫描范围：700mm×400mm~702mm×402mm
- - 最小扫描范围：200μm×200μm
- - 带宽：550MHz
- - 最大放大倍数：625倍
- - 新型FCT专利换能器
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扫描声学显微镜