KSI - 凯斯安i-Wafer型全自动晶圆超声波缺陷检测系统
i-Wafer系列是一款高端仪器,操作人员可选择接收/拒绝标准,手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下,晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检测。
新型KSI i-Wafer晶圆缺陷检测系统的主要特点: - 扫描速度最高达2000mm/s - 新型换能器 - 高质画面 - 同时使用1只、2只、4只换能器提高效能 - 能发现只有几微米的缺陷 - 能检测200mm、300mm和450mm的晶圆 - 频率范围从10MHz到550MHz - 最大放大倍数:625倍 - 通过不同的扫描模式灵活应用 - 使用Windows 7 GUI就可简单操作 - KSI 可视软件 - 根据用户需要加以应用 - 高性价比
为客户订制的晶圆托盘 全自动8英吋和12英吋晶圆缺陷检测声扫系统,带晶圆盒、机械手、准直系统和条码识别系统
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